“精度”这个术语的正确含义，是指实际值接近给定值（或理论值）的程度。工程中使用的数值是表示实际值与给定值之间的偏差，即“不精确度”。所以，在定量地评价机床的精度时，常使用的是“偏差”和“误差”、“公差”等术语。例如，在讨论数控冲床的定位精度时，实际所给出的定位更大偏差0.03mm（公差带宽度表示法）和定位偏差±0.015mrn（测量偏差表示）。在实际工作中常常引用如下一些精度术语和概念：
  1、测量精度是指数控冲床测量系统的精度。它包括测量基准的误差、测量系统的误差以及读数误差等。
  2、控制系统定位精度是指伺服驱动系统和测量系统配合工作时沿坐标轴方向某一点相对另一点进行定位的精度（以更大偏差衡量）。它除了包括测量精度外，主要表示伺服系统准确执行定位指令的能力。伺服系统元件开关时间和动作起停c包括正、反、换向）时间的波动，都会引起控制系统实际定位点的分散。
  3、重复定位精度（或重复精度）  是指数控冲床滑板位置的可重复性。重复定位精度主要由伺服系统和机床进给系统的性能所决定，例如，伺服元件开关特性、进给部件的间隙、刚性和摩擦特性等。一般情况下，重复定位精度是成正态分布的偶然性误差，即在相同条件下，需在某一点定位时的预计离散程度作为其重复精度。
  4、数控冲床滑板定位精度是指测量系统、伺服系统和机床进给系统综合作用而达到的定位精度。实际上它是测量精度和重复定位精度的综合，或者说是控制系统定位精度再加上机床进给系统（间隙和弹性变形造成的误差）的影响。
  5、数控冲床几何精度是指机床各部件工作表面的几何形状及相互位置接近正确几何基准的程度。对于多坐标数控冲床而言，各导轨面的直线度和平行度将引起各个坐标轴的相应角度变化，即颠摆、摇摆和滚摆。
  6、数控冲床定位精度是指机床在规定的加工空间范围内进行定位的精度，以可能出现的更大定位偏差表示。换句话说，机床定位精度是指按照允许输入的位移指令进行定位时可能产生的更大偏差。机床定位精度包括测量系统、伺服系统、滑板进给系统以及各机,床部件相互几何关系的影响。
  7、机床定位稳定性，亦称机床定位再现性是指在相当长的时间内保持机床定位精度的能力，它反映了环境温度、机床温度、外加载荷重量和机床磨损等因素的变化对机床定位精度的影响。
  8、机床精度是指机床在规定的条件（主要是温度条件）工作时所能达到的机床定位精度。
   上述八项指标都是静态的（即在运动停止后进行测定的），这对各种数控机床都适用。但对于轮廓控制的机床，还要考核轮廓跟随精度，这是一项动态精度，反映在运动过程中。
  9、轮廓跟随精度是指实际运动轨迹接近于程序给定轨迹的程度。它影响着轮廓的加工精度，与伺服系统的速度放大系数、驱动时间常数、运动速度、轮廓切线方向变化率等素有关。
  10、机床加工精度（或称加工精度）  是指机床上加工的工件所达到的精度。它不仅取决于上述各种机床精度指标，而且还与夹具、刀具和工件本身的误差有关。